去除多余的材料并获得所需的形状,尺寸以及创建复杂的功能是当今微制造技术的唯一目标。因此,微加工技术利用各种材料去除机制来制造微米特征以及微米/亚微米尺寸的成形表面。在最近的过去,为了满足微制造的各种需求,使用不同的微加工技术变得流行。它包括利用能量的不同微加工方法,例如机械,热,化学和电化学微加工。重点讨论了微型USM,微型EDM,微型LBM,微型ECM。它包含基本的材料去除机制,设置细节,比较,工艺参数的影响,优势和挑战以及应用。它还涵盖了不同的混合微加工工艺,这些工艺将两个或多个微加工工艺相结合,以同时实现各个工艺的优势。还考虑了各种顺序微加工(SMM)工艺,这是微加工领域的最新发展,这基本上是一种加工策略,其中在同一机床上依次实施两种或多种微加工技术,并试图涵盖越来越多的微加工。在单个工作站上的进程。加工圈官网